梁振光,沪都微电子装备集团有限公司光刻机项目总工程师。
作为技术人员,他以往所参加的活动大都是一些专业的行业交流会,很少在公众面前露面。
而这一次,他怀着完全不一样的心情走向台前的,话说的很直接:
“第一件事,我诚恳的向大家道歉,以往我们辜负了太多的期待,这些年,每年都有我们光刻机要交货的消息,而每一次都爽约了。”
看着年过半百、头发半白的总工程师站在这里说抱歉,很多人心中唏嘘不已:我们谆谆期待的,那是别人一生为之奋斗的,又有什么可以指责呢?
就算公司可能有炒作的成分,那又跟一线的工程师们有什么关系呢?
光刻机的难度大家不是不知道,梁振光也是说起了这件事儿:“我们为什么总是爽约呢?
“光刻机大家都知道,它十分复杂,光子系统就有十二个大类,包括光源曝光系统、工作台系统、投影物镜系统、掩模台系统、自动校准系统等等。
“这是一个庞然大物,涉及多个工业和信息学科门类,是当今世界最复杂的工业机器之一。有阿斯麦的专家曾经断言,我们永远也不可能造出自己的高端光刻机。我没有反驳,手里没货,何以反驳?
“但自那之后,我们先后联合科学院大光所,长机所解决了光源和透镜系统,自行研究解决了工作台掩模台,又花费好几年更新了校准系统,可以说,几乎所有的工作我们好几年之前就已经完成了。
“这也是为什么每年都传出我们光刻机要交货的原因,真的只是只差临门一脚啊!但,我们还是把这个大家伙想的太简单了,所有的子系统都没有问题,但组合起来精度标准就是达不到,日复一日,年复一年。
“而今天,我可以明确的告诉大家,这个问题已经解决,我们的20nm精度光刻机已经完成实验,在一个月内将会在混沌科技江州半导体工厂进行风
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